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我国的光刻机现在发展到了什么程度?关键部件什么时候可以国产化?

热点  浏览:脚机流质不敷 用怎么办 起首 咱们先单纯相识 一高甚么事光刻机,光刻机又名:掩膜瞄准 暴光机,暴光体系 ,光刻体系 等。经常使用的光刻机是掩膜瞄准 ,以是 鸣 Mask Alignment System。正常的光刻工艺要阅历 硅片外面 洗濯 烘湿、途底、旋图光刻胶、硬烘、瞄准 暴光、后烘、隐影、软烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻)意义是用去制造 一个图形(工艺);正在硅片外面 匀胶,然后将掩膜版上的图形转化光刻胶上的进程 将器件或者电路构造 暂时 复造到硅
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